研发能力

研发能力

集成电路材料基因组创新体系

        材料基因组是近二十年兴起的材料研发新范式,其改变原有从发现到形成产品量产的线性研发过程,通过高通量计算、高通量制备和高通量表征相结合,加快研发迭代,缩短研发时间、减少研发成本。集成电路材料种类繁多,组分复杂,研究院将充分利用集成电路材料基因组研发手段,加速各种工艺材料与衬底材料的研发,实现信息功能材料和先进工艺材料的突破。

        高通量集成电路材料工艺平台。该平台可实现8英寸全晶圆高通量材料工艺和集成,将材料的工艺和性质与器件的集成和性能关联。研制世界领先水平的具有原位表征与材料制备能力的高通量薄膜沉积技术。开发液体工艺材料现场混配加注技术,以实现高通量配方在量产工业设备的测试能力。

        高通量集成电路材料计算平台。建立集成电路材料数据库架构,研究不同数据类型材料的采集、标注、入库及智能检索技术,形成集成电路材料数据库。针对集成电路先进材料全产业链过程开发第一性原理、分子动力学及跨尺度计算等计算方法,并融入机器学习技术,形成材料高通量计算能力。构建包含材料数据库、材料计算模拟、人工智能一体化的集成电路新材料高通量设计平台,实现材料的高通量筛选。


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