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研究院概况

上海集成电路材料研究院

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        上海集成电路材料研究院(以下简称“集材院”)是由中国科学院上海微系统与信息技术研究所、上海硅产业集团发起成立,聚焦集成电路衬底材料、工艺材料、前沿技术的研发与产业化,为集成电路材料发展提供坚实的创新策源。