上海集成电路材料研究院面向集成电路材料研发共性问题，建设开放性的集成电路材料应用研发平台，提供包括性能检测、工艺验证、计算仿真、材料研发等服务，为企业提供材料研发、测试验证的服务直通车。 晶圆盒服务能力 集材院应用研发平台的晶圆盒检测服务,致力于解决晶圆盒生产商及应用商在实际生产工艺中对FOSB、FOUP等晶圆载具的检测需求。 🔷 核心检测服务 √阳离子污染物测试 √阴离子污染物测试 √密闭性测试 √挥发性有机污染物测试 √耐摔性测试 √particle产生可能性分析等 序号 测试项目 测试设备 可分析的精度 1 密度 密度天平 Max 220g;0.1mg 2 硬度 硬度计 shore A(一般橡胶) shoreC(软质橡胶) shore D(硬质橡胶) 3 拉伸强度、断裂伸长率 万能试验机 / 4 热变形温度 维卡软化点 温度范围20℃~300℃ 温度传感器的温度分辨率≤±0.01℃ 位移传感器精度≤±0.002mm 5 透光率 紫外分光光度计 / 6 吸水性 天平/干燥器/高低温湿热试验箱 / 7 粗糙度 表面轮廓仪 / 8 摩擦系数 摩擦系数仪 精度:0.5 级 9 主成分定性 FTIR/Py-GCMS / 10 抗静电性能测试 表面电阻计 0.01Ω到2.0*10e+14Ω 11 抗静电性能测试 表面电阻计 / 12 抗静电性能测试 表面电阻计 游标卡尺0-300mm，精度0.01mm 深度尺0-200mm，精度0.02mm 13 阳离子污染物 ICP-MS / 14 阴离子污染物 离子色谱 检出限:纯水<20ppt 15 颗粒污染 液体颗粒计数器 / 16 密闭性 氦气检漏仪 氦气最小可检测泄漏率:<5x10-13Pam3/s 17 洁净度 尘埃粒子计数器 / 18 挥发性有机污染物 PTR-TOF 仪器检出限:二甲苯<10ppt 19 耐摔性 跌落试验机 / 20 防震水平 模拟运输振动试验机 / 21 耐高低温 高低温湿热试验箱 / 22 particle产生可能性 Sorter机台颗粒测试机台 / 23 晶圆颗粒污染 中科飞测颗粒测试机台 / 晶圆盒测试案例 1、晶圆盒粗糙度测试-单位：μm 测试详情：FOSB不同Slot部位的粗糙度 测试设备：表面轮廓仪
结论：
FOSB不同Slot 部位的粗糙度Sa存在差异
Step2位置的粗糙度Sa比Step1和3高
2、晶圆盒金杂测试-单位：ppt
测试详情：不同FOSB清洗液的金属离子污染物浓度测试
测试设备：ICPMS
可测试元素种类：34种
结论：
不同FOSB金属离子污染物浓度存在差异，与清洗、生产等 样品状态同样存在较大关联
Na、K、Ca等环境相关离子浓度显著高于其他离子浓度
3、晶圆盒VOCs测试-单位：ppm
测试详情：不同FOSB内部挥发性有机污染物浓度在线测试
测试设备：PTR-TOF
可测试元素种类：>90种，可根据需求添加清单物质
结论：
不同FOSB内部挥发性有机物浓度在不同温度下呈现不同结果TVOC 65℃下两者差异较大,100℃两者比较接近
联系我们
如有集成电路材料研发、测试验证、计算仿真需求，欢迎联系。
联系人：刘冬林
联系电话：13601896565
邮箱：donglin.liu@sicm.com.cn
联系人：方颖
联系电话：13661546274
邮箱：ying.fang@sicm.com.cn
