邀请函|第十届(2022)中国半导体设备年会之新器件新工艺推动新设备新材料创新发展论坛-新闻动态-上海集成电路材料研究院-上海集成电路材料研究院（简称“集材院”）成立于2020年6月，是聚焦集成电路衬底材料、工艺材料和原材料、零部件材料以及产业关键技术研发与产业化的新型研发平台，为集成电路材料发展提供坚实的创新策源。