邀请函|第十届(2022)中国半导体设备年会之新器件新工艺推动新设备新材料创新发展论坛-新闻动态-上海集成电路材料研究院-致力于集成电路材料的研发与产业化，为集成电路材料发展提供坚实的创新策源。