集材院｜看见不可见的空气显影术：VOCs检测设备宣传片
你知道吗？在半导体洁净室里，一缕看似纯净的无尘空气，可能暗藏着ppb级的挥发性有机物（VOCs)，例如苯系物这个无形的“工艺杀手”可能会与某些光刻胶树脂发生π-π堆叠，导致曝光灵敏度下降。
这些颠覆半导体制造的挥发性有机物，正是苏码罐采样+液氮预浓缩+GC-MS/FID联用系统的侦测对象。采集的气体通过富集系统后进入GC实现分离，分离后的气体组分随之进入质谱（MS）或火焰离子化检测器（FID），在MS中利用EI源/质量分析器将其离子化和筛选，最终由检测器测定离子强度，实现挥发性有机物的定性与定量分析。
苏码罐采样
液氮预浓缩
GC-MS/FID
联用系统
罐采样系统流程示意图
除洁净室不同工艺区域的气体监测以外，该系统可对极紫外光刻机及新风系统出入口(非洁净室区域)的空气进行监测，能够以ppb级的检测极限捕捉其中痕量的挥发性有机物(VOCs)。
上海集成电路材料研究院的VOCs（挥发性有机物）检测系统，可以测试116种气体，对挥发性有机物含量进行检测。其检出限可低达ppb 级，适合环境、工业等领域的合规性监测和科研需求。
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