关于我们

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集材院|显微镜里的纳米王国:扫描电镜(SEM)宣传片

集材院|显微镜里的纳米王国:扫描电镜(SEM)宣传片


你知道吗?一个指甲盖大小的芯片上,竟能藏着上万条比蜘蛛丝还细的金属线路。


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看似光滑如镜的硅片表面,在放大十万倍后,竟布满月球环形山般的沟壑。


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这些肉眼不可见的微观奥秘,都被一种 "黑科技设备"—— 扫描电镜(SEM)轻松揭开。它就像一把通往纳米世界的钥匙,让我们得以窥探集成电路材料的微观真相。


SEM



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SEM:不止是 "放大镜",更是微观世界的 "解码器"


不同于普通显微镜依赖光线成像,SEM 的工作原理堪称巧妙:它利用电子束扫描样品表面,通过检测电子与样品的相互作用产生的信号,形成高分辨率图像,由此为我们揭开集成电路材料表面形貌和成分的神秘面纱。


电子束扫描样品表面

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检测信号

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形成高分辨图像


多元功能加持,助力解决集成电路领域核心检测需求


上海集成电路材料研究院的扫描电镜(SEM)设备,集齐了三大核心功能


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高灵敏度BSE成像

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EDS元素分析

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!

EBSD晶相分析


这些功能,让它成为集成电路领域的 "检测利器",广泛应用于:


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衬底材料表面分析

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薄膜材料成膜界面表征

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抛光材料表面形貌检测

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封装材料表面结构互联形貌

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包装材料结构分析


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