集材院|显微镜里的纳米王国:扫描电镜(SEM)宣传片
你知道吗?一个指甲盖大小的芯片上,竟能藏着上万条比蜘蛛丝还细的金属线路。

看似光滑如镜的硅片表面,在放大十万倍后,竟布满月球环形山般的沟壑。

这些肉眼不可见的微观奥秘,都被一种 "黑科技设备"—— 扫描电镜(SEM)轻松揭开。它就像一把通往纳米世界的钥匙,让我们得以窥探集成电路材料的微观真相。

SEM:不止是 "放大镜",更是微观世界的 "解码器"
不同于普通显微镜依赖光线成像,SEM 的工作原理堪称巧妙:它利用电子束扫描样品表面,通过检测电子与样品的相互作用产生的信号,形成高分辨率图像,由此为我们揭开集成电路材料表面形貌和成分的神秘面纱。
电子束扫描样品表面

检测信号

形成高分辨图像
多元功能加持,助力解决集成电路领域核心检测需求
上海集成电路材料研究院的扫描电镜(SEM)设备,集齐了三大核心功能

高灵敏度BSE成像

EDS元素分析

EBSD晶相分析
这些功能,让它成为集成电路领域的 "检测利器",广泛应用于:

衬底材料表面分析

薄膜材料成膜界面表征

抛光材料表面形貌检测

封装材料表面结构互联形貌

包装材料结构分析
想解锁 SEM 的更多可能?这里有专业平台等你
无论是想深入了解 SEM 的技术原理,还是有样品测试的实际需求,上海集成电路材料研究院都是你的优质之选。这里的专业设备与技术团队,能为你提供精准、全面的微观检测服务。
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