集材院临港新片区研发基地宣传片首发
上海集成电路材料研究院临港新片区研发基地于2025年1月正式启用，总建设面积7800平方米，已布局140余台集成电路材料与零部件材料专用检测设备，并具备CNAS、CMA、ISO9001、ISO27001等多项资质，可提供材料性能检测与概念验证服务。
性能检测实验区
性能检测实验区建设有百级和千级洁净间，配备物理、化学分析实验室，质谱、光谱实验室，VOC、TDS分析实验室等，可提供集成电路材料的分析检测服务。
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概念验证实验区
概念验证实验区布局有微纳技术平台、高通量成膜技术平台。微纳技术平台配备无掩膜光刻、氧化炉、光电化学腐蚀等设备，支持微纳技术的设计、仿真、研制、测试及咨询服务；高通量成膜平台配备集材院自主研发的8英寸全晶圆集簇设备，可实现在不破坏真空情况下，单一晶圆连续开展多个区域的薄膜沉积，并在XPS腔进行成分、价态等材料性能表征。
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集材院临港研发基地为集成电路材料与零部件提供专业的研发支持和技术服务，助力集成电路材料产业创新发展！
上海集成电路材料研究院
上海集成电路材料研究院(以下简称“集材院”)成立于2020年6月，是聚焦集成电路衬底材料、工艺材料和原材料、零部件材料以及产业关键技术研发与产业化的新型研发机构，为集成电路材料发展提供坚实的创新策源。
集材院集成电路材料应用研发平台能力
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